半导体产业晶圆干燥推荐，KOKUSAN对置式自旋干燥机(离心烘干机)
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是作为面向半导体产业晶圆干燥装置有很多实绩的装置。通过借助了离心力和ULPA过滤的空气流进行清洁除水干燥工作。
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产品详细介绍
KOKUSAN对置式自旋干燥机(离心烘干机)
特徴・用途
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡
遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡
クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡主な仕様
電源 AC200V 3φ 50/60Hz 15A 駆動エアー 0.5Mpa (5Kg/cm2) 最大処理量 6インチキャリア×2架
5インチ以下キャリア×2架又は4架許容積載重量 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) ULPAフィルタ 有 イオナイザ 有 制御 PLC・インバータ 操作部 釦スイッチ 回転数 1,000rpm
(常用回転数 800rpm)モータ インバータモータ 寸法 800(W)×990(D)×1004(H)mm
蓋開時の高さ1528(H)mm重量 180Kg 深圳市京都玉崎电子有限公司编写
2015.10.16