KOKUSAN对置式自旋干燥机(离心烘干机)
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- KOKUSAN对置式自旋干燥机(离心烘干机)
- KOKUSAN科库森
- H-840SA
- 日本
- 现货
是作为面向半导体产业晶圆干燥装置有很多实绩的装置。通过借助了离心力和ULPA过滤的空气流进行清洁除水干燥工作。
产品详细介绍
KOKUSAN对置式自旋干燥机(离心烘干机)
特徴・用途
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡
遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡
クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
主な仕様
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
|---|---|
| 駆動エアー | 0.5Mpa (5Kg/cm2) |
| 最大処理量 | 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 |
| 許容積載重量 | 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) |
| ULPAフィルタ | 有 |
| イオナイザ | 有 |
| 制御 | PLC・インバータ |
| 操作部 | 釦スイッチ |
| 回転数 | 1,000rpm (常用回転数 800rpm) |
| モータ | インバータモータ |
| 寸法 | 800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋開時の高さ1528(H)mm |
| 重量 | 180Kg |